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固定式碳酰氟检测仪

简要描述:固定式碳酰氟检测仪是用来检测环境中的碳酰氟浓度,并在其浓超标时报警。碳酰氟又名氟光气,主要用作半导体制造装置的清洗气和蚀刻气,也用于有机合成的中间体、氟化剂;碳酰氟为无色、有刺激性的有毒气体,遇水会快速水解,生成二氧化碳和氟化氢。

  • 产品型号:ERUN-PG51-CF
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-09-05
  • 访  问  量:694

产品概述

 

固定式碳酰氟检测仪是用来检测环境中的碳酰氟浓度,并在其浓超标时报警。碳酰氟又名氟光气,主要用作半导体制造装置的清洗气和蚀刻气,也用于有机合成的中间体、氟化剂;碳酰氟为无色、有刺激性的有毒气体,遇水会快速水解,生成二氧化碳和氟化氢。

 


固定式碳酰氟检测仪

产品技术参数

检测气体:碳酰氟COF2,氟光气

产品型号:ERUN-PG51-CF

分辨率:0.001ppm0-10ppm高精度)/0.01ppm010 ppm);0.01ppm0100 ppm),0.1ppm01000 ppm),1ppm05000 ppm以上);0.01MG/L0.1%LEL0.01%0.001%Vol,其他分辨率可订制

检测原理:电化学、催化燃烧、红外、热导、半导体、PID光离子等(根据现场环境和用户需求订制)

检测精度:≤±3%F.S;重复性:≤±2%

线性度:≤±2%;不确定性:≤±2%

响应时间:T9020秒;恢复时间:≤30

信号输出:总线制RS485信号,分线制4~20mA;选配:0~20mA1~5V0~5V0~10V、无线传输、网络传输、短信报警

工作电压:12~30VDC直流电,单台设备的标准电源为24V1A或大于1A直流电

报警方式:默认1路,可选2路无源接触点(干节点)输出,三级报警,报警点可设置现场声光报警

防护等级:IP65防水防尘

防爆功能:ExdllCT6Gb;隔爆型

界面语言:默认中文,中英文可选

显 示 屏:1.7高清彩屏

显示方式:单通道显示

安装方式:管道式、壁挂式

工作方式:在线扩散式/管道式检测。选配:泵吸式/流通式

报警模式:低报警、高报警、区间报警

校准功能:零点自动跟踪、目标点多级校准

误操作识别:自动识别并阻止

数据恢复:全部恢复,选择性恢复(浓度、报警、全部)

日志记录:校准日志、维修日志、故障记录、故障解决对策

工作环境:温度-40~+70℃、湿度0-99%RH

重量:1.5KG

预处理(选配):常温高湿预处理系统、高温高湿度预处理系统、高温高湿高粉尘预处理系统

 

此款仪器为固定在线式安装,可连接输气管道;直流电供电,中英文双语可切换;防护等级为IP65,防爆类型为隔爆型,外壳采用防爆材料制成,适用于各种复杂工况;1.7寸高清彩色显示屏,清晰显示浓度、时间、温湿度等信息。

 

碳酰氟是一种刺激性强、无色有毒的气体,对人体呼吸道粘膜和皮肤有强烈刺激性作用,是新一代工业半导体设备的清洗和刻蚀材料,虽然对环境的污染不大,但是对人体健康有很大的危害。在制备、生产以及使用的过程中要注意检测其浓度变化,可使用固定式碳酰氟检测仪检测。

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