超纯水电阻率溶解氧在线监测传感器分析仪

ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测传感器分析仪专为半导体、电子、光伏、制药、电厂锅炉及工业超纯水系统设计，可实现超纯水电阻率、电导率及微量溶解氧（DO）的24小时在线连续监测。设备采用高精度电极与荧光法微量溶氧检测技术，具备自动温度补偿、实时数据传输、超限报警及RS485/4-20mA输出功能，适用于晶圆清洗、EDI超纯水、锅炉补给水及纯化水系统水质控制。产品符合电子级超纯水在线监测需求，可有效降低水质波动引发的氧化、腐蚀、结垢及工艺污染风险。

在半导体、电子制造、医药纯化水及锅炉补给水系统中，超纯水水质直接关系到产品良率、设备寿命与工艺稳定性。尤其是电阻率和溶解氧（DO）两项关键指标，一旦出现波动，容易导致晶圆污染、金属氧化、锅炉腐蚀以及工艺失控等问题。赢润集团研发生产的ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪，参照《ASTM D5127-13(2018)电子和半导体行业超纯水标准指南》设计，可实现对超纯水电阻率及微量溶解氧的24小时连续在线监测，广泛适用于半导体、电子、光伏、制药、电厂及高纯水系统等行业。

超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪产品特点：

★采用高精度电阻率与微量溶解氧检测技术，可实现超纯水水质连续在线监测。

★依据《ASTM D5127-13(2018)电子和半导体行业超纯水标准指南》设计，满足电子级超纯水监测需求。

★支持电阻率、电导率及微量溶解氧（DO）同步分析，监测数据更全面。

★配备自动温度补偿功能，减少环境温度变化对测量结果的影响。

★具备24小时实时在线监测能力，可及时发现超纯水系统异常。

★采用高灵敏度传感器，能够实现ppb级微量溶解氧检测。

★支持4-20mA、RS485等工业通讯方式，可接入PLC、DCS及智慧工厂系统。

★具有超限报警与数据存储功能，方便历史数据查询与趋势分析。

★设备稳定性高、维护量低，适合长期连续运行。

★工业级结构设计，适用于电子车间、纯水站及复杂工业环境。

★响应速度快，可实时反映超纯水电阻率及溶解氧变化趋势。

★有助于降低人工化验频率，提高超纯水系统自动化管理水平。

超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪技术参数：

一、超纯水电阻率在线监测分析仪技术参数：

二、超纯水溶解氧在线监测分析仪技术参数：

超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪典型应用：

▲半导体行业晶圆清洗超纯水系统在线监测。

▲光刻工艺超纯水电阻率与溶解氧控制。

▲CMP化学机械抛光工艺纯水品质分析。

▲集成电路（IC）制造超纯水系统监测。

▲LED及液晶面板生产用高纯水在线分析。

▲光伏新能源行业电子级纯水系统水质监测。

▲医药行业注射用水（WFI）在线监测。

▲制药纯化水（PW）系统水质连续检测。

▲电厂锅炉补给水与除盐水系统监测。

▲超纯水EDI系统出水水质分析。

▲工业高纯水制备系统电阻率在线检测。

▲锅炉凝结水及蒸汽系统微量溶解氧监测。

▲精细化工行业高纯工艺用水在线分析。

▲实验室及科研机构超纯水系统水质监控。

超纯水电阻率与溶解氧含量是衡量工业超纯水系统稳定性的重要指标。ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测传感器分析仪通过高灵敏度在线传感技术，实现对μg/L级微量溶解氧及高纯水电阻率的精准监测，广泛应用于半导体、电子制造、制药纯化水、电厂锅炉补给水及工业纯水领域。设备支持连续在线分析、自动温度补偿、远程通讯及异常报警，可帮助企业及时发现EDI异常、管路氧腐蚀、水质离子污染等问题，提升超纯水系统运行安全性与产品工艺稳定性。